Ürün ayrıntıları:
Ödeme & teslimat koşulları:
|
flanş: | ISO-K/CF | soğutma: | Su |
---|---|---|---|
kontrolör: | Gemide | nihai basınç: | CF:1E-6, ISO-K/F:6E-6 |
Vurgulamak: | turbo moleküler pompalar,turbomoleküler vakum pompası |
Maglev Pompa , CXF-250/2301E , Su soğutma , Gemide
Manyetik olarak havaya kaldırılan moleküler pompalar, şaftları manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır.
Seri manyetik olarak levitated moleküler pompalar, modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar alanlarındaki uygulama gereksinimlerini karşılamak için KYKY tarafından geliştirilen vakum üretim ekipmanıdır.
teknolojiler:
Uygulamalar:
Seri manyetik olarak levitasyonlu moleküler pompalar, esas olarak yarı iletken imalatı, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar, özellikle aşındırma, CVD, PVD ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların çıkarılması ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.
Özellikler:
Flanş(In) | DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
Flanş(Çıkış) KF | DN40 |
Pompalama Hızı (L/s) | n2:2300 |
Ar:2250 | |
o:1900 | |
H2:850 | |
Sıkıştırma oranı | n2:108 |
Ar:108 | |
O:104 | |
H2:103 | |
Nihai Basınç (Pa) | CF:1×10-6 |
ISO-K/F:6×10-6 | |
Maks.Sürekli Ön vakum basıncı (Pa) | 60 |
Maks.Ön-vakum Basıncı | n2:250 |
Gaz Boyunca (sccm) | n2:3600 |
Ar:1400 | |
O:2800 | |
H2:2100 | |
Dönme Hızı ( rpm) | 27000 |
Çalıştırma Süresi (dk) | ≤11 |
Soğutma Tipi, Standart | Suçlu |
Soğutma Suyu Tüketimi ( L/dk) | 1 |
Soğutma Suyu Sıcaklığı(℃) | 20 |
Güç Bağlantısı: Voltaj (V AC) | 220 |
İlgili kişi: sales
Tel: +8613810212935